(1)儀表使用時,使用環境應滿足說明書中規定的環境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表程的規定范圍內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用時應配套安裝適當截止、過濾器,干燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由于該儀表容易發生堵塞現象,所以使用中要經常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要直接轉入“閥控”位,應先置于“關閉位覺,然后,再轉至“控”位。

(5)對于反應系統,建議在 MFM/MFC入口處加裝過濾器,出口端加裝單向層,以防止異常情況發生時,液體反應物倒流至儀表內使其損壞。

(6)對于常壓系統,一般選擇減壓器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對于高壓系統,應在 MFM//MFC的上游加裝減壓閥、過濾器,下游加裝背壓閿(或其他節流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工作壓差。

(8)對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意系統的密閉性(檢漏時,不要忽視減壓器),必要時設計上吹洗旁路,以便進行氮氣吹洗或正壓保待。

(9)對有高頻源的系統,應注意屏慧,并做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對于高真空系統,應盡量減少氣略接頭,對須有的接頭,要嚴格密封或采用VCR等接頭

(11)對于 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇水平位置、并且安裝面要水平、安裝位置要易于裝卸、檢、調零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要安全可靠。

(12)使用中,如果工藝系統復雜或使用特殊氣體,儀表的測控系統啟用應建立專用的操作規程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過外罩上的調零孔調整,也可揭開外罩調整,但量程調整電位器不得輕易調整。

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