熱式氣體質量流量計 是測量氣體流量的儀器。它可以測量氣體、空氣、氮體、空氣、氮氣、乙炔、光氣、氫氣、天然氣、氮氣、液化石油氣、過氧化氫、煙氣、甲烷、丁烷、氯氣、氣體、沼氣、二氧化碳、氧氣、壓縮空氣、氬氣、甲苯、苯、苯、二甲苯、硫化氫、二氧化硫、氨等。因此，該流量計已廣泛應用于石油、化工、半導體、醫療儀器、生物工程、燃燒控制、氣體分配、環境監測、精密儀器、科研、測量、食品、冶金、航空航天等領域。

    熱式氣體質量流量計的原理是什么？流量計實際上采用了熱擴散原理，是一種在惡劣條件下性能優良、可靠性高的技術。熱氣體質量流量計的典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，另一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD放置在介質中時，速度傳感器被加熱到高于環境溫度的恒定溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。通過速度傳感器的氣體質量流量由傳感器元件的傳熱量計算。氣體流量計的氣體流量增加，介質帶走的熱量增加。傳感器的溫度相應地降低了。為了保持溫度恒定，氣體流量計必須通過傳感器增加工作電流，電流增加的部分與介質流量成正比。

    熱式氣體質量流量計介質溫度：熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理設計而成，流量計的探針是根據被測介質溫度來決定探針加熱溫度的，一般探針加熱溫度比介質溫度高50度。由此可以看出，流量計在正常測量時要求被測介質溫度較為恒定，此時加熱電流與介質流量成

    熱式氣體質量流量計比例關系；直接式的工作原理往往和介質的質量(密度)相關，即直接測出與ρν成比例的信號。目前運用較多的直接式質量流量計有:利用科里奧利原理的質量流量計和利用流體與固體的熱能交換原理的熱式流量計。前者只能用于液體介質測量，后者多用于氣體介質測量。

    熱式氣體質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量，還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。

    熱式氣體質量流量計是根據科里奧利原理制成，適用于所有過程技術分支中的大范圍連續流量測量應用。液體質量流量計不僅能直接測量和顯示被測介質的溫度和密度，還可顯示被測介質的質量流量，后者與被測介質的其他參數如密度、溫度、壓力和流動狀態無關。